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1表面质量
目测外观符合附表1相关要求。对整包硅片重点查看B4,B7、TTV、缺口、碎片、油污等情况;整包里的B4片在迎光侧表现为“亮点”背光侧较暗;B7、TTV片手感表现较重的,利用分选机重新分选;油污一般为斑点形式,擦拭不掉,无论面积大小均需重新清洗。
2 外型尺寸
通过硅片自动分选机分选判定,符合附表1相关要求。
3 电性能
依据硅锭/硅块测试数据判定,必要时用相关测试仪器核实。
3抽检方法
(1)对硅片车间自检合格的包装硅片或直传片,采取一次抽检(抽检比例8%),不合格比例不高于0.5%。每次抽检不合格率大于0.5%时,通知清洗班长重新分选,对重新分选片抽检合格后可入库。
(2)抽取8%硅片进行检测,其结果作为该批硅片合格的判定依据。
注:针对分选机现状,分选机分选A等硅片由清洗工序包装时进行简易分选;B3、B5、B9硅片人工分选,B7、B8硅片分选时加大抽检力度,避免不合格硅片混入。
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